隨著導(dǎo)電型SiC襯底的逐漸量產(chǎn)，對工藝的穩(wěn)定性、可重復(fù)性都提出更高的要求。特別是缺陷的控制，爐內(nèi)熱場微小的調(diào)整 […]
固定線圈，工藝穩(wěn)定
了解更多滿足大尺寸晶體生長，溫度精確控制
了解更多≤±1℃溫度分布，更大處理箱，逆流、平流工藝
了解更多恒普推出的晶體生?設(shè)備可根據(jù)用戶需求，實現(xiàn)40多種不同功能結(jié)構(gòu)選項，滿足各種不同晶體生?場景。同時恒普科技為用戶提供全套所需工具包，為用戶提供全系列解決方案。 在碳化硅同質(zhì)外延設(shè)備領(lǐng)域，恒普現(xiàn)已量產(chǎn)水平式外延設(shè)備，同時即將推出垂直式外延設(shè)備。
恒普服務(wù)部門具有10多年售后服務(wù)經(jīng)驗，是一個具備優(yōu)秀專業(yè)素質(zhì)和先進服務(wù)理念的團隊，隨時待命，確保恒普交付的每一臺設(shè)備正常運行。 在設(shè)備到達客戶現(xiàn)場之后，進行安裝和調(diào)試，確保設(shè)備順利運行，并進行現(xiàn)場操作維護培訓(xùn)。在保修期內(nèi)對設(shè)備定期進行跟蹤維護，建立服務(wù)檔案。對設(shè)備出現(xiàn)的問題在第一時間內(nèi)進行回復(fù)，并對客戶的提出的需求及時跟進。
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